报告主题：光谱椭偏丈量及其与干预丈量手艺的交织研究

Spectroscopic ellipsometry and its intersection with interferometry

报告时间：2018年5月22日 上午10：00

报告人：Sergiy Valyukh

报告所在：延伸校区机械附楼2楼讲习室

报告人简介：

Sergiy Valyukh博士，，，，，副教授（瑞典林雪平大学，，，，，Link?ping University, Sweden）,Sergiy博士在光学检测以及光学质料方面有深挚的造诣。。。。。曾先后获得“国际先进质料协会科学奖”（2003），，，，，瑞典基金会ALMI提名为“达尔纳项目的开发者”（2009）等。。。。。先后组织过多次主要国际聚会：“前沿显示手艺”(乌克兰，，，，，1997，，，，，1999，，，，，2002)“欧洲SID”(Borl?nge，，，，，瑞典，，，，，2003)等，，，，，并多次受邀在主要国际学术聚会上作约请报告和特邀报告。。。。。其先后多次前往香港科技大学和南洋理工大学等高校做会见学者。。。。。Sergiy教授现在在国际主要刊物上揭晓国际论文80多篇，，，，，11项发明专利以及出书1部著作。。。。。其主要研究领域包括：光学检测，，，，，光学质料，，，，，光学成像。。。。。

报告摘要：Both spectroscopic ellipsometry and interferometry are powerful non-contact and non-destructive optical techniques used for characterization surfaces and bulk materials. In contrast to interferometry that is based on measuring of intensity distribution in an interference pattern, ellipsometry deals with analysis of the state of polarization of the light interacted with a sample. Basics of the ellipsometric methods will be presented. A few experimental setups that can be assembled in the Lab of Applied Optics and Metrology and be combined with the existed interferometric facility for investigation of surfaces, thickness measurements, study of indexes of refraction and anisotropy will be discussed.